多晶硅塊機加工副產物硅粉回收技術及其產業化

 

　　本成果是以多晶硅塊機加工副產物硅料的回收與利用為目標，開發利用行業中普遍存在的廢棄的低值硅粉屑技術。這種廢硅粉屑(以下簡稱硅屑)主要來源于多晶硅塊機加工過程中的帶鋸去頭尾、磨床磨面及倒角等工序，其主要成分為多晶硅微粉、二氧化硅粉，此外還包括金屬以及一些油脂類雜質，其中最有價值的是多晶硅微粉鋸屑。

 

　　2、成果特點

 

　　本成果主要技術特點包括：(1) 利用浮選法提純硅粉，以實現硅粉與雜質的初級分離;(2) 通過解除硅粉團聚將硅粉中包裹的鐵、銅等雜質暴露于溶液中及控制去除金屬過程中有害物質的生成，以實現金屬雜質的有效去除;(3) 通過將硅粉中殘留的微量硼磷雜質及其它有機類雜質轉化成氣體或可溶于水的物質，并最終通過清洗工序將之去除，可有效去除雜質并且在除雜過程中不會引入新的雜質(所加除雜劑為不溶于水的氣態物質);(4) 通過控制控制反應條件，使硅粉中氮化硅等少量不溶性超細雜質溶于反應液中，以得到高純硅粉產品;(5) 通過在含硅廢水中加入一種添加劑，使之在剛切割下來的硅粉表面生成一層保護膜，阻止自來水對硅粉進一步的氧化侵蝕，減少硅屑的被氧化率。

 

　　3、技術成熟度

 

　　本項目技術成熟，項目所采用的關鍵技術均屬自主研發，已申請國家發明專利7項及PCT國際專利1項，且其中5項發明專利已獲國家知識產權局授權。技術成果達到國際先進水平，在國內外具有很強的競爭力。本項目產品質量穩定，其主要性能完全能夠滿足太陽能硅料使用要求，并且與國外同類產品比較，本項目產品純度更高，關鍵雜質含量(如B、P)更低。

 

　　4、合作方式

 

　　技術轉讓。