電子行業(yè)廢酸回收提純關(guān)鍵技術(shù)

 　　一、成果簡介

　　隨著半導(dǎo)體、液晶面板及太陽能電池等產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，其生產(chǎn)流程中使用氫氟酸和硝酸來作為蝕刻硅及硅化合物的使用量也會愈來愈多，混酸被使用后成為電子酸廢液時，其所含有的氫氟酸10%左右，硝酸20%-30%。對硝酸和氫氟酸廢液的治理一直是企業(yè)研究的熱點，通常采用的有化學(xué)法、蒸發(fā)法、離子交換法和溶劑萃取法等。但以上方法均具有回收的酸為混酸的缺點，即無法實現(xiàn)氫氟酸和硝酸的單獨分離，而將混酸中的氫氟酸和硝酸單獨分離且提純具有一定的工業(yè)應(yīng)用價值，其中，氫氟酸可用于半導(dǎo)體工業(yè)使用它來除去硅表面的氧化物，而硝酸可被用來制取一系列硝酸鹽類氮肥。針對氫氟酸及硝酸與水共沸的物性特點，首先將廢酸溶液提濃，除去其中的重金屬鹽，再通過加鹽精餾分別得到氫氟酸和硝酸產(chǎn)品，加入的金屬鹽通過回收實現(xiàn)循環(huán)利用，可以說整套工藝可實現(xiàn)資源高效回收，流程簡單、能耗較低，是一個高效可行的分離工藝。

　　二、技術(shù)水平及成熟性

　　目前成果已申請國家發(fā)明專利一項，并通過了中試試研發(fā)的初步驗證認(rèn)可，目前與企業(yè)完成了15噸/天的工業(yè)示范裝置，已進入成熟應(yīng)用階段 。

　　三、產(chǎn)業(yè)化前景分析

　　目前國內(nèi)對混酸回收分離的相關(guān)研究較少，且無法實現(xiàn)氫氟酸和硝酸的單獨分離，嚴(yán)重影響其產(chǎn)品的開發(fā)和新技術(shù)的推廣。利用本項目的技術(shù)可用于電子行業(yè)廢酸中氫氟酸和硝酸的單獨分離，使得該裝置可根據(jù)市場情況，及時調(diào)節(jié)生產(chǎn)高純氫氟酸和硝酸產(chǎn)品的產(chǎn)量，大大增加了該裝置的操作靈活性。根據(jù)氫氟酸和硝酸的市場價格，每生產(chǎn)一噸氫氟酸和硝酸產(chǎn)品，則會提高約3000元的利潤空間，具有良好的發(fā)展前景。

　　四、合作方式

　　技術(shù)轉(zhuǎn)讓，企業(yè)應(yīng)提供相應(yīng)的廠房、現(xiàn)有裝置和基礎(chǔ)建設(shè)等條件，我方進行工藝設(shè)計及工程設(shè)計的一條龍技術(shù)服務(wù)。